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第六百八十六章 冲,世界第一梯队!【求月票】 (第8/9页)
扫描的方式实现曝光,光源也改进为248纳米的krf激光,实现了跨越式发展,将最小工艺推进至180-130纳米。到了这个阶段,想要追赶就比较难了。” 陆逸明则是回答道:“其实更难的是第四代,步进式扫描投影光刻机,最具代表性的光刻机产品,1986年由asml首先推出,采用193纳米arf激光光源,实现了光刻过程中,掩模和硅片的同步移动,并且采用了缩小投影镜头,缩小比例达到5:1,有效提升了掩模的使用效率和曝光精度,将芯片的制程和生产效率提升了一个台阶。” “如今业界普遍认为193纳米光刻无法延伸到65纳米技术节点,而157纳米将成为主流技术。然而,157纳米光刻技术遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。眼下,欧美诸多列强的众多研究者,都在157纳米浸入式光刻面前踌躇不前,而我们破晓光学已经看到了希望。” 听说破晓光学看到了突破157纳米的希望,王行顿时就激动了起来。连忙问道:“什么希望?赶紧跟我说说。” 他刚才都还在担心陆逸明这么大张旗鼓,最后能不能取得成功。 要知道,全世界研究光刻机的公司不少,而且都是欧美发达国家的高科技公司,陆逸明除了钱多之外,根本就没有任何优势。 但是科技这玩意儿,并不单单是砸钱就能够解决问题的。如果砸钱就能解决一切问题的话,那这个世界上也就不存在问题了。 可陆逸明却给他带来了惊喜,说研究已经有了希望,这可把王行给激动坏了。 不过,王行马上又反应过来,讪讪地说道:“不好意思
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